Fully Auto有門道。
晶圓倉與潔凈室Stocker之間，高速的OHT系統(tǒng)連接，主要覆蓋Inter Bay，是生產(chǎn)物流“大動脈”;
在Stocker與E-Rack再到機臺上下料環(huán)節(jié)，采用AMR，覆蓋Intra Bay，是工廠里的物流“毛細血管”。Inter Bay上主打一個快，Intra Bay中講究一個細膩。AMR與OHT互為補充，共同鋪開半導(dǎo)體生產(chǎn)的智能化升級通路。
1、集群調(diào)度
支持1000+AMR共場作業(yè)
多機型協(xié)同調(diào)度
2、全景覆蓋
全治具搬運
強輻射、高潔凈、高震動場景適配
3、系統(tǒng)兼容
智慧生產(chǎn)系統(tǒng)協(xié)同打通
實現(xiàn)整場智慧物流建設(shè)
（來源：優(yōu)艾智合機器人）
