打造半導體工廠智慧物流“毛細血管”

Fully Auto有門道。

晶圓倉與潔凈室Stocker之間，高速的OHT系統連接，主要覆蓋Inter Bay，是生產物流“大動脈”;

在Stocker與E-Rack再到機臺上下料環節，采用AMR，覆蓋Intra Bay，是工廠里的物流“毛細血管”。Inter Bay上主打一個快，Intra Bay中講究一個細膩。AMR與OHT互為補充，共同鋪開半導體生產的智能化升級通路。

1、集群調度

支持1000+AMR共場作業

多機型協同調度

2、全景覆蓋

全治具搬運

強輻射、高潔凈、高震動場景適配

3、系統兼容

智慧生產系統協同打通

實現整場智慧物流建設

（來源：優艾智合機器人）